一、半導(dǎo)體制造工藝過程中揮發(fā)的各種有機(jī)廢氣，半導(dǎo)體廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。這些廢氣排放主要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體。

　　1、酸堿廢氣主要來自于擴(kuò)散、CVD、CMP及刻蝕等工序，這些工序使用酸堿清洗液對(duì)晶片進(jìn)行清洗。目前，在半導(dǎo)體制造工藝中使用為普遍的清洗溶劑為過氧化氫和硫酸的混合劑。這些工序中產(chǎn)生的廢氣包括硫酸、氫氟酸、鹽酸、硝酸及磷酸等的揮發(fā)氣。

　　2、堿性氣體為氨氣。

催化燃燒廢氣處理設(shè)備

　　3、有機(jī)廢氣主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴(kuò)散等工序，在這些工序中要用有機(jī)溶液(如異丙醇)對(duì)晶片表面進(jìn)行清洗，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機(jī)廢氣的來源之一:同時(shí)，在光刻、刻蝕等過程中使用的光阻劑(光刻膠)中含有易揮發(fā)的有機(jī)溶劑，如醋酸丁酯等，在晶片處理過程中也要揮發(fā)到大氣中，是有機(jī)廢氣產(chǎn)生的又一來源。

　　4、有毒廢氣主要來源于晶體外延、干法刻蝕及CVD等工序中，在這些工序中要使用到多種高純特殊氣體對(duì)晶片進(jìn)行處理，如硅烷(SiH4)、磷烷(PH3)、四氟化碳(CF4)、硼烷、三氯化硼等，部分特殊氣體具有毒害性、窒息性及腐蝕性

　　二、半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣處理方法：

　　半導(dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放風(fēng)量大、濃度低和成分復(fù)雜的特點(diǎn)，使用其它的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效果。現(xiàn)在大多采用活性炭吸附脫附催化燃燒法。也有一些大型半導(dǎo)體企業(yè)已采用沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒技術(shù)。下面佑泰環(huán)保小編為您簡(jiǎn)單介紹這兩種設(shè)備。

　　2.1、催化燃燒設(shè)備：

　　半導(dǎo)體工藝產(chǎn)生的廢氣經(jīng)蜂窩活性炭處理后，達(dá)標(biāo)排放。本設(shè)備的工作原理是利用微孔活性物質(zhì)對(duì)溶劑分子或分子團(tuán)的吸附力，當(dāng)廢氣通過吸附介質(zhì)時(shí)，其中的有機(jī)溶劑即被阻留下來，從而使有機(jī)廢氣得到凈化處理，當(dāng)吸附體吸附飽和后，又根據(jù)分子熱運(yùn)動(dòng)理論，從外界加給吸附體系熱能，提高被吸附分子或分子團(tuán)的熱運(yùn)動(dòng)能量，當(dāng)分子熱動(dòng)力足以克服吸附力時(shí)，有機(jī)溶劑分子便從吸附體系中爭(zhēng)脫出來，從而使吸附介質(zhì)得到再生。

4萬風(fēng)量催化燃燒

　　吸附：在引風(fēng)機(jī)的作用下將捕集后的低溫、低濃度廢氣進(jìn)入凈化裝置內(nèi)吸附體，廢氣通過蜂窩狀蜂窩活性炭吸附凈化，凈化后空氣通過風(fēng)機(jī)經(jīng)過排氣筒排空。

　　脫附再生：當(dāng)蜂窩狀蜂窩活性炭在吸附室內(nèi)吸附至濃縮到飽和定量值時(shí)，從吸附體中自動(dòng)轉(zhuǎn)換1個(gè)室為脫附室，自動(dòng)循環(huán)轉(zhuǎn)換吸附、脫附。

　　脫附時(shí)，由生產(chǎn)作業(yè)室外的氣體作為脫附氣體，在經(jīng)過熱交換器的作用下，使蜂窩活性炭碳室進(jìn)行脫附。脫附出的氣體經(jīng)熱交換器后進(jìn)入脫附設(shè)備，將溫度升至300℃左右，燃燒后的氣體再進(jìn)入熱交換器，與脫附出的氣體進(jìn)行熱交換，對(duì)脫附氣體進(jìn)行預(yù)加熱，加熱進(jìn)氣，提高熱能利用率，減少加熱電能。

　　脫附下來的有機(jī)廢氣經(jīng)阻火器并經(jīng)主進(jìn)風(fēng)閥/旁通閥切換調(diào)節(jié)進(jìn)入熱交換器，通過熱交換器的換熱，使溫度較低的有機(jī)廢氣加熱到起燃溫度。然后升溫后的有機(jī)廢氣進(jìn)入氧化反應(yīng)床，在高溫氧化作用下，有機(jī)物進(jìn)行氧化反應(yīng)生成H2O和CO2。由于催化反應(yīng)放熱，使反應(yīng)后氣體溫度上升達(dá)到一定的溫度值。反應(yīng)后的高溫氣體經(jīng)熱交換器換熱，預(yù)熱脫附廢氣使溫度升高，并且反應(yīng)后的高溫氣體降低一定量的溫度，***后經(jīng)排風(fēng)機(jī)高空排放。

10萬風(fēng)量催化燃燒設(shè)備

　　2.2、沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒設(shè)備

　　沸石轉(zhuǎn)輪催化燃燒VOCs處理設(shè)備，是將吸附濃縮單元和熱氧化單元有機(jī)地結(jié)合起來的一種方法，主要針對(duì)大風(fēng)量、低濃度的有機(jī)廢氣，經(jīng)吸附凈化并脫附后轉(zhuǎn)換成小風(fēng)量、高濃度的有機(jī)廢氣，對(duì)其進(jìn)行焚燒處理，并將有機(jī)物燃燒釋放的熱量有效利用。它適用于汽車、家具噴涂、化工、制藥、電子、印刷、制鞋、塑料等行業(yè)，對(duì)含有苯、酯、醇、酮、醛、酚等VOCs廢氣的凈化及消除臭味，適用于常溫、低濃度、不宜采用直接燃燒、催化燃燒和吸附回收處理的有機(jī)廢氣，尤其對(duì)大風(fēng)量的處理場(chǎng)合，均可獲得滿意的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

沸石轉(zhuǎn)輪示意圖

　　1、高吸、脫附效率，使原本高風(fēng)量、低濃度的VOCs廢氣，轉(zhuǎn)換成低風(fēng)量、高濃度的廢氣，降低后端終處理設(shè)備的成本。

　　2、沸石轉(zhuǎn)輪吸附VOCs所產(chǎn)生的壓降極低，可大大減少電力能耗。

　　3、濃縮倍數(shù)達(dá)到3-15倍，大大縮小后處理設(shè)備的規(guī)格，運(yùn)行成本更低。

　　4、整體系統(tǒng)采預(yù)組及模塊化設(shè)計(jì)，具備了zui小的空間需求，且提供了持續(xù)性及無人化的操控模式。